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00XtremeVision显微测量软件平台集成了3D形貌重建，多工具测量分析，影像观察测量以及自动化测量四大功能模块，全力满足不同领域材料的高精度形貌表征需求： 1、非接触式无损检测，高精度全面三维成像，简明流畅的界面设计致力于为用户带来更加舒适的测量体验，告别繁琐流程，新手小白也能迅速上手; 2、3D测量界面可以对扫描数据进行分析，丰富的测量工具包可还原样品微小细节； 3、2D影像可用于直接对视场内样品标注测量，记录样品二维尺寸0光学轮廓仪是一种基于白光干涉原理而研发生产的精密测量仪器，主要用于非接触、无损地检测精密机械加工表面，其结果以3D数据地图的方式显示，能够直观地展示表面纹理特征。其测量对象和应用领域广泛，具体介绍如下： 一、测量对象 光学轮廓仪能够测量各种材料、器件和产品的表面形貌特征，包括但不限于： 1.表面粗糙度：在精密制造、材料科学和半导体工艺等领域，表面粗糙度是影响产品质量和性能的关键因素之一。光学轮廓仪能够精确1新质生产力不仅仅是生产效率和成本控制的提升，更重要的是通过创新和技术升级，从而实现生产过程智能化、个性化、和高质量化。传统的生产模式正在被颠覆，而半导体行业作为高科技产业的代表之一，更是迫切需要适应这一变革。 随着半导体技术的不断发展和智能制造的推动，半导体制造过程中，对尺寸、形状和表面质量的检测至关重要。而显微测量仪的高精度、高分辨率的测量能力，为半导体行业提供了强大的支持。 SuperViewW光学3D表面轮廓2见一叶而知深秋，窥一斑而见全豹” 这句话用来形容中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，在超精密加工显微测量场景中发挥的作用恰如其分。 大多数的场景中，只需检测一个数十、数百微米的区域，即可取得“见微知著”的效果，但在少数需要检测超精密器件表面全貌的场景中，借助中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪的自动拼接功能，就能够快速实现大区域、高精度的测量。 场景一：超光滑的弧形表面 上图是一款旋转抛物面零件，用于微小位移共 8 张0SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪通过纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术实现0.1nm级表面粗糙度测量，成为超精密抛光技术研究领域的重要工具和帮手。 浙江工业大学赵军、吕冰海团队对磨料旋转射流抛光(ARJP)技术，剪切增稠抛光技术等开展深入研究，并利用SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪对抛光后表面粗糙度进行检测验证，多篇论文在国际TOP期刊发布。 《Tribology International》（中科院一区） Numerical and experimental investigation on the material re0SuperViewW3d光学轮廓仪用于测量微光学器件应用案例 为获得更好的光学处理效果，需对玻璃或树脂等光学材料结构进行微纳工艺加工，如时下流行的投影仪中匀光用的激光扩散片，还有各类组成特殊图案的衍射元件，工业用光栅、特殊目的的光学器件。0有哪些微纳米表面轮廓形貌测量仪器？ 1、白光干涉仪 白光干涉仪是一种常见的微纳米表面轮廓仪测量仪器，常用于研究产品的微观形貌和粗糙度。它利用光的波长差异产生干涉条纹，通过计算条纹的变化情况来确定物体表面的轮廓。 针对完成样品超光滑凹面弧形扫描所需同时满足的高精度、大扫描范围的需求，W1白光干涉仪复合型EPSI重建算法，解决了传统相移法PSI扫描范围小、垂直法VSI精度低的双重缺点。在自动拼接模块下，只需要确定起点和终00“小身材，大作用”——一个简单的比喻，恰当地总结了SuperView WM100光学3D表面轮廓仪的特点。中图仪器在基于对SuperView W1机型的深入研究基础上，新推出的mini型光学3D表面轮廓仪SuperView WM100，以回应市场对小型化、便携式光学3D表面轮廓仪的需求。 图.WM100光学3D表面轮廓仪 轻便的机身，简约的设计——没有控制箱、无须隔震台，如图所见，即是全部。SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪采用了新的设计方法，内置了控制系统和隔振模块，整机仅由一台轻0SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪以白光干涉扫描技术为基础研制而成，以光学非接触的扫描方式对样品表面微观形貌进行检测。其轮廓尺寸测量功能支持纳米级别的台阶高和微米级别的平面尺寸测量，包含角度、曲率等参数；可用于半导体减薄片、镀膜片晶圆IC的粗糙度、微观轮廓测量。 针对半导体领域大尺寸测量需求，SuperViewW3型号配备兼容型12英寸真空吸盘，一键测量大尺寸微观三维形貌。 SuperViewW3 半导体领域专项功能 1.同步支持6、8、12英寸三种规共 4 张01能。对于透明材料来说，其特点是能够让光线穿过并且不发生明显的散射。透明材料的光学性质主要包括透射率、折射率、反射率等。表面光学轮廓仪可以利用透明材料的反射、透射等光学特性来实现测量。它在测量透明材料时，一般会使用分束器将光束分为两束，一束垂直入射到待测透明材料表面上，另一束则绕过透明材料后与反射光相交，在干涉屏上产生干涉条纹。通过测量干涉条纹的间距及其变化，可以计算出透明材料的厚度或者折射率。 但0是一款用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量的检测仪器。1可以。在实际应用中，光学轮廓仪的测量对象可以是各种类型的材料，例如金属、陶瓷、塑料等。无论是同质材料还是非同质材料的测量，光学轮廓仪的干涉图样分析和计算方法都可以提供准确而详细的测量结果： 1、同质材料具有相似的光学特性，因此可以采用简化的分析方法。利用干涉仪图样的分析，可以直接获得相关参数（如膜层厚度、表面粗糙度、膜层折射率等），从而得到准确的测量结果。 2、对于非同质材料，由于其光学特性的差异性，1光学3D表面轮廓仪能够以优于纳米级的分辨率，测量金属的形状、表面缺陷、几何尺寸等多个方面： 1、形状测量。光学3D表面轮廓仪可以快速、准确地获取金属表面的曲率、凹凸等特征。 2、表面缺陷检测。光学3D表面轮廓仪可以实时捕捉金属表面的瑕疵、划痕、凹陷等问题，以便及时修复和改进。 3、几何尺寸测量。光学3D表面轮廓仪可以测量金属制品的长度、宽度、高度等维度参数。 除了测量金属表面的形状和轮廓外，光学3D表面轮廓仪还可以生成0针对光通信行业中光波导器件的光纤端面粗糙度的检测需求，中图仪器推出SuperView系列光学3D表面轮廓仪基于白光干涉原理和纳米扫描系统，具备0.1nm的纵向分辨率和全透明表面干涉条纹成像的能力，能够轻松实现针对FA光纤端面粗糙度Sz参数的高精度、高重复性的一键式测量。0中图仪器共聚焦显微镜能够对光学膜表面微结构实现快速自动化测量，并提供高度、宽度和角度等一系列轮廓尺寸参数对表面质量进行表征，帮助客户实现光学膜片表面质量的检测与管控。 在实现表面微结构3D图像的高精度重建与测量的同时，共聚焦显微镜以其明显优于金相显微镜的横向分辨率，也能够提供表面微结构的清晰影像图片，帮助更细致的观察微结构的表面特征，从图像可知，在高倍率镜头下，棱镜峰侧壁的刀具磨损纹路痕迹明显，金字塔0表面形貌即为表面微观几何形态，不仅对接触零件的机械和物理特性起着决定作用，而且对一些非接触零件的光学和外部特性影响也很大。所以对表面形貌的精准测量能正确地识别出加工过程的变化和缺陷，对研究表面几何特性与使用性能的关系、控制和改进加工方法等都有着显著的意义。 随着微电子技术、光学技术、计算机技术、传感技术、信号分析和处理技术等飞速发展，对表面形貌测量精度不断提高，从微米尺度进入了纳米甚至是亚纳米尺度共 5 张0近年来，面对持续高涨的芯片需求，半导体行业生产迎来了高难度挑战——对芯片工艺要求更精细，从5nm到3nm，甚至是2nm。“先进封装”的提出，是对技术的新要求，也是对封装工艺中材料和设备的全新考验。 芯片身上布控着几千万根晶体管，而晶体管越小，可放置的晶体管越多，性能也将越高。芯片的进化就是晶体管变小的过程。晶体管密度更大、占用空间更少、性能更高、功率更低，但挑战也越来越难以克服。小尺寸下，芯片物理瓶颈越来越难共 4 张12以白光干涉技术为原理的SuperViewW1光学轮廓仪，能够以优于纳米级的分辨率，非接触式测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。主要测表面形貌或表面轮廓，此外具有的测量晶圆翘曲度功能，非常适合晶圆、太阳能电池和玻璃面板的翘曲度测量，应变测量以及表面形貌测量。040光学轮廓仪属于高精度测量仪器，在测量过程中要想获得精确的测量结果，就要避免测量过程中的差错。正确的使用方法才能保证数据的精确。 中图仪器光学表面轮廓仪使用中需要注意的事项： 1、测量路径和测量方法十分重要，要确定精确的路径和方法。 2、工件的照明方法也十分重要，要根据被测特征来进行设计。 3、需要选择适当的工件固定方法和适当的工件方向。 4、没有自动变焦系统的型号，需要进行标定，同时还需要确定适当的倍率。 5、03D光学轮廓仪测量三维形貌的系统原理是在视场范围内从样品表面底部到顶部逐层扫描，获得数百幅干涉条纹图像，找到该过程中每一个像素点处于光强最大时的位置，完成3D重建。 SuperViewW1 3D光学轮廓仪由光学照明系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、信号处理系统、应用软件构成。其中信号处理系统作为仪器核心部分，由计算机和数字信号协处理器构成。利用计算机采集一系列原始图像数据，然后使用专用的数字信号协处理器完成数据解析作共 4 张2光学3d表面轮廓仪是以白光干涉技术为原理，能够以优于纳米级的分辨率，非接触测量样品表面形貌的光学测量仪器，用于表面形貌纹理，微观结构分析，用于测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数，广泛应用于光学，半导体，材料，精密机械等等领域。 如我国的半导体产业技术特别是芯片的研发和制造方面，与国外的高端制造还有很大的差距。目前我们能够成熟掌握的技术虽然可以做到大批量产28nm工艺的芯片共 4 张0光学轮廓仪是采用什么原理进行测试的？ 白色光经分光板发射出特定波长的光。这种特定波长的光在双光束干涉物镜中，经过分光板被分成两束光，一束光照 射到参照物表面，另一束光照射样品表面，这样得到的两束反射光在相机上成像。将样品表面的凹凸不平引起的光程差所获得的干涉条纹信息转换成高度信息，生成3D图像。 测量时通过计算机控制徽驱动装置的进给带动参考镜的进给，这样被测样本表面的不同高度平面就会逐渐进入3高速位移的镜头向静止不动的鸡蛋驶来，一场惨烈的碰撞即将发生，但当他们接触时，却相安无事，是什么原因，让镜头停下了疾驰的脚步，让“以卵击石”也能毫发无损的实现？ 今天，带大家深入认识一下中图仪器W1型系列光学3D表面轮廓仪的双重防撞保护功能，看看这小巧的设计，是怎样发挥出为客户守护设备、守护产品、守护价值的巨大作用。 第一重：软件防撞保护ZSTOP ZSTOP，顾名思义，就是软件设置在Z轴上的停止位，设置位置到样03D光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害，视样品选择不同测量模式，相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度，垂直扫描干涉模式（VSI）则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。 3D光学轮廓仪是一款使用便利、性能卓越，性价比高的非接触无损伤三形貌维测量仪器，第九代系统采用独有的双LED照明光源ZL技术，能够更好的检测超光滑表面及非常粗糙的表面，它的测量范围可达亚纳米级粗糙度到毫米级3随着半导体制造技术的发展，8 inch和12 inch晶圆已成行业主流，为适应现代化智能制造工厂生产管理需求，中图仪器在SuperView W1光学3D表面轮廓仪基础上进行升级，推出了新一代专用于半导体行业大尺寸晶圆自动化检测的W3型光学3D表面轮廓仪。 SuperView W3光学3D表面轮廓仪，为半导体行业微观检测量身打造，具有多个显著的优点： 1.最大300*300mm的行程，可适配12inch及以下的所有尺寸的晶圆； 2.同时兼容12inch及以下规格的真空吸盘，一台设备，即可适用于23SuperViewW11200光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白023superview w1光学3d表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密z向扫描模块、3d 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3d图像，通过系统软件对器件表面3d图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2d、3d参数，从而实现器件表面形貌3d测量的光学检测仪器。 superview w1光学3d表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3c电子玻璃屏及其精密配件、光2SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperView W1光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光0请问下，三维测量的基准面是哪些？作用分别是什么？101002引言：半导体产业是一个点石成金的行业，将从普通的石英砂中提取的硅原料制成拥有现代工业系统“心脏”之称的IC芯片，中间须历经数十上百道工序，从硅晶圆的制备到晶圆IC的制造，每一步都对工艺流程的质量有着严格的管控要求，由各式各样的检测仪器共同组成了产品质量监控的守门员，而在这之中，作为产品表面质量检测仪器的光学3D表面轮廓仪，以其超高的检测精度和重复性，发挥着重要的作用。 中图仪器SuperView W1光学3D表面轮廓仪，是一共 5 张
