春节长假已结束，迎来蛇年新的开端，广大客户都已陆续开工。中图仪器为您准备好了一份新春好礼——显微测量仪器开机指南，一起唤醒沉睡多天的仪器吧！ 显微测量仪器 1.检查实验室环境：干燥、清洁、无振动，温湿度稳定； 2.检查电源插头是否插好，电源线是否有破损，工作台面是否干净无尘； 3.检查隔振系统气浮模块是否正常浮起； 4.打开设备主机和电脑开关，开机进入测量软件，仪器执行初始化程序。

光学轮廓仪测量原理 基本原理：光学轮廓仪是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器。光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜分成两束，一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射，两束反射 光最终汇聚并发生干涉。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。通过测量干涉条纹的变化，就可以测量出被测表面的相关物理

XtremeVision显微测量软件平台集成了3D形貌重建，多工具测量分析，影像观察测量以及自动化测量四大功能模块，全力满足不同领域材料的高精度形貌表征需求： 1、非接触式无损检测，高精度全面三维成像，简明流畅的界面设计致力于为用户带来更加舒适的测量体验，告别繁琐流程，新手小白也能迅速上手; 2、3D测量界面可以对扫描数据进行分析，丰富的测量工具包可还原样品微小细节； 3、2D影像可用于直接对视场内样品标注测量，记录样品二维尺寸

在精密制造领域，表面粗糙度的测量是确保产品质量的关键步骤。光学3D表面轮廓仪为这一需求提供了解决方案。 在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业，表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。 产品特点 SuperView W系列光学3D表面轮廓仪采用了白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，能够对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级的测量。这种非接触式的

随着科技进步，显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量，其中包括光学3D表面轮廓仪（白光干涉仪）、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌，从而指导生产过程、优化产品性能。 光学3D表面轮廓仪是一种利用白光干涉原理进行非接触式测量的高精度仪器。它通过分析反射光的干涉模式来重建表面的三维形貌。 非接触无损测量，超高纵向分辨率，测量从光滑

光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)利用白光干涉原理，以0.1nm分辨率精准捕捉物体的表面细节，实现三维显微成像测量，被广泛应用于材料学领域的研究和应用。 材料学领域中的光学3D表面轮廓仪，也被称为白光干涉仪，是利用白光干涉原理进行成像测量的仪器，是一种通过测量干涉光的干涉条纹来获取物体表面形貌的方法。 该仪器通过发射一束宽光谱的白光，并将其照射到被测物体表面，然后收集被物体反射的光线，形成一系列干涉条纹。干涉条纹的

光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)利用白光干涉原理，以0.1nm分辨率精准捕捉物体的表面细节，实现三维显微成像测量，被广泛应用于材料学领域的研究和应用。 材料学领域中的光学3D表面轮廓仪，也被称为白光干涉仪，是利用白光干涉原理进行成像测量的仪器，是一种通过测量干涉光的干涉条纹来获取物体表面形貌的方法。 该仪器通过发射一束宽光谱的白光，并将其照射到被测物体表面，然后收集被物体反射的光线，形成一系列干涉条纹。干涉条纹的

SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪通过纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术实现0.1nm级表面粗糙度测量，成为超精密抛光技术研究领域的重要工具和帮手。 浙江工业大学赵军、吕冰海团队对磨料旋转射流抛光(ARJP)技术，剪切增稠抛光技术等开展深入研究，并利用SuperView W1系列光学3D表面轮廓仪对抛光后表面粗糙度进行检测验证，多篇论文在国际TOP期刊发布。 《Tribology International》（中科院一区） Numerical and experimental investigation on the material re

在产品制造、产品质量检测过程中，精确的尺寸控制和表面质量是保证产品质量的关键。接触式测量方法不仅测量效率低下，而且可能会对被测物体造成损伤。 光学3D表面轮廓仪以白光干涉原理，3D非接触快速测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸。保证产品尺寸和表面质量的一致性，提高生产效率和产品质量。 无论是金属制品、塑料制品，还是电子元器件、汽车零部件，光学3D表面轮廓仪都能够准确地检测产品的尺寸、形状和表面特征，快速、准

在工业应用中，光学3D表面轮廓仪超0.1nm的纵向分辨能力能够高精度测量物体的表面形貌，可用于质量控制、表面工程和纳米制造等领域。 与其它表面形貌测量方法相比，SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪达到纳米级别的相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)，具有快速、非接触的优点。它结合了跨尺度纳米直驱技术、精密光学干涉成像技术、连续相移扫描技术三大独特技术，能够滤除光源不均匀带来的误差，以超越0.1nm的纵向分辨能力，让显微形貌分毫毕

“小身材，大作用”——一个简单的比喻，恰当地总结了SuperView WM100光学3D表面轮廓仪的特点。中图仪器在基于对SuperView W1机型的深入研究基础上，新推出的mini型光学3D表面轮廓仪SuperView WM100，以回应市场对小型化、便携式光学3D表面轮廓仪的需求。 图.WM100光学3D表面轮廓仪 轻便的机身，简约的设计——没有控制箱、无须隔震台，如图所见，即是全部。SuperView WM100型光学3D表面轮廓仪采用了新的设计方法，内置了控制系统和隔振模块，整机仅由一台轻

SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪以白光干涉扫描技术为基础研制而成，以光学非接触的扫描方式对样品表面微观形貌进行检测。其轮廓尺寸测量功能支持纳米级别的台阶高和微米级别的平面尺寸测量，包含角度、曲率等参数；可用于半导体减薄片、镀膜片晶圆IC的粗糙度、微观轮廓测量。 针对半导体领域大尺寸测量需求，SuperViewW3型号配备兼容型12英寸真空吸盘，一键测量大尺寸微观三维形貌。 SuperViewW3 半导体领域专项功能 1.同步支持6、8、12英寸三种规

一、基本原理 白光干涉仪是一种用来测量光学元件形状、表面光洁度、材料折射率、薄膜厚度和膜层结构等参数的精密仪器。它利用光的干涉原理，通过比较两束光的相位差来推断待测物的参数。在白光干涉仪中，采用全息照相技术，对物体进行三维重构，实现高精度的量测和成像。 二、检定标准 白光干涉仪的检定标准有以下几个方面： 1.光源 要保证光源的光谱稳定性和色温，保证光源的强度和颜色温度在一定范围内。光源根据不同的需要分为激

光学3D表面轮廓仪怎么测量坑的形貌？它是利用干涉现象，使用白光源照射物体，并将反射光经过干涉仪的分光装置后形成干涉图样。通过观察干涉图样的变化，就可以获得物体表面形貌的细节信息。 如何使用光学3D表面轮廓仪来测量坑的形貌？在使用光学轮廓仪测量坑的形貌时，将仪器的出光口对准坑样的表面，调整仪器的焦距和位置，直到能够得到清晰的干涉图样。然后，记录下干涉图样的形状和变化，最后进行数据处理和分析，就可以得出坑的

纳米科技的迅猛发展将我们的视野拓展到了微观世界，而测量纳米级尺寸的物体和现象则成为了时下热门的研究领域。纳米级测量仪器作为一种重要的工具，扮演着重要的角色。那么，如何才能准确测量纳米级物体呢？ 在纳米级测量中，由于物体尺寸的相对较小，传统的测量仪器往往无法满足精确的要求。而纳米级测量仪器具备高精度、高分辨率和非破坏性的特点，可以测量微小的尺寸。 1、光学3D表面轮廓仪 SuperViewW1光学3D表面轮廓仪以白光干涉技

两个物体表面相互接触即会产生相互作用力，研究具有相对运动的相互作用表面间的摩擦、润滑与磨损及其三者之间关系即为摩擦学，目前摩擦学已涵盖了化学机械抛光、生物摩擦、流体摩擦等多个细分研究方向，其研究的数值量级也涵盖了亚纳米到百微米的区间。摩擦本身是一种能量损耗现象，然而得到合理地利用也能产生巨大的正面效益，因此，准确地测定磨损量并进行精确的控制，是摩擦学研究中的一个重难点。 SuperView系列光学3D表面轮廓仪已

台阶仪与光学3D表面轮廓仪，两者虽然都是表面微观轮廓测量利器，但还是有所不同。 1、测量方式 （1）台阶仪是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器； （2）光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级非接触式测量的光学检测仪器。 2、测量应用 （1）台阶仪主要用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等微观形貌参数的测量。 参数测量功能 1）台阶高度：能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度，可以准确测量蚀刻、溅射、SIM

光学仪器属于精密测量仪器，在测量过程中要想获得精确的测量结果，就要避免测量过程中的差错。正确的使用方法和保养注意事项才能保证数据的精确。 中图仪器光学3d轮廓仪在使用中需要注意的事项主要有： 1、确定精确的路径和方法。 2、工件的照明要根据被测特征来进行设计。 3、要选择适当的工件固定方法和适当的工件方向。 4、仪器编程以及记录注解信息，能够使得数据更精确并更有利于数据维护。 此外，对于光学3d轮廓仪来说，好的维护

中图仪器光学3D轮廓仪可以快速高效测量硅晶片表面粗糙度。

白光干涉仪是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面的3D形貌测量。 SuperViewW1系列白光干涉仪主要用来测量3C玻璃、硅晶片、蓝宝石衬底等表面粗糙度（微纳米、纳米级别）、MEMS微机电系统台阶高、金属件表面磨损和摩擦情况以及超光滑加工表面粗糙度、平整度、划痕等

传 统 的机 械 零件 由 于 受 加 工 设 备 的 限 制 ， 对 面 形 精 度 的 要 求 ，如 平 面 度 ，粗 糙 度 ，

有很多客户来电或发邮件过来咨询我们的SuperView W1系列 光学3D轮廓仪是否可以测他们的工件，但是发来图

您是否为白光干涉仪高达亚纳米的分辨能力而惊叹，却因为国外设备提出的苛刻安装要求而却步？那就让我们走进中图仪器，走近WX-100，了解它简易的安装要求和便捷的安装服务，是如何让这一始终被国外厂商笼罩着神秘面纱的高端检测手段，变得触手可及，神奇而不神秘。 在模具行业，由于表面质量要求非常高，常常需要采用光学检测手段来对粗糙度、微观轮廓等表面质量相关参数进行检测，但由于模具行业的工件，特别是在汽配模具等行业，工

精密检测仪器，顾名思义，就是一种用于精密检测的仪器。所谓的精密检测仪器，我们可以从其字面上进

光学轮廓仪原理： 中图仪器SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一款用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检

三维形貌测量仪选型很重要。 那么如何选型了？ 一，确定测量工件是什么？什么材质的，什么形状的，尺寸多大？ 二，确定需要测量哪些参数，测量精度多少？ 三，是否有特殊要求。 通过以上3点基本可以确定三维形貌测量仪的型号和配置了。 SuperView W1三维形貌测量仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图

中图仪器SuperView W1 光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是

SuperViewW1光学3D表面轮廓仪以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。 SuperViewW1光学3D表面轮廓仪可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT

随着半导体制造技术的发展，8 inch和12 inch晶圆已成行业主流，为适应现代化智能制造工厂生产管理需求，中图仪器在SuperView W1光学3D表面轮廓仪基础上进行升级，推出了新一代专用于半导体行业大尺寸晶圆自动化检测的W3型光学3D表面轮廓仪。 SuperView W3光学3D表面轮廓仪，为半导体行业微观检测量身打造，具有多个显著的优点： 1.最大300*300mm的行程，可适配12inch及以下的所有尺寸的晶圆； 2.同时兼容12inch及以下规格的真空吸盘，一台设备，即可适用于

SuperView W1光学3d轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干

轮廓仪分为接触式和光学3d轮廓仪（非接触式）； 接触式： 由一根测针直接接触被测工件轮廓表面采集数

l 表面微观形貌测量技术的发展历程及国内外研究现状 早期,对于试件表面微观的量度，只能依靠触觉、视觉、直接触摸或目测等简单的方法来判断，随着社会慢慢发展，就出现采用显微镜的方法进行。上面这些方法只能够对试件表面微观定性做出简单评定。 德国人G.Schmalz，在1929年第一次对机械构件微观表面高度定量的进行了评定。在几年后，构件表面粗糙度测量仪、触针式表面粗糙度测量仪等都相继在车间中出现。随之，中国也也出现了自行设计、

①精密部件：检测对表面磨损，表面粗糙度，表面微结构有要求的零部件，比如发动机汽缸、刀口等; ②

亲爱的各位吧友：欢迎来到光学3d轮廓仪