高纯水加工：高纯水是利用半透性螺旋卷式膜分离去除水中的可溶性固体、有机物、胶体物质及细菌。原水以一定的压力被送至并通过逆渗透膜，水透过膜上的微小孔，收集后得到纯水。水中的杂质在载流液中浓缩并被去除。RO可除去进水中95%以上的溶解性固体，99%以上的有机物及胶体。
高纯水灭菌：
A、氧和紫外地有序结合用于消毒/灭菌。臭氧是一种强氧化剂，它地氧化能力在天然元素中仅此与氟，位居第二。臭氧能氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必需的葡萄糖氧化酶等，也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏细胞、核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏。在水处理中对除嗅、脱色、杀菌、去除酚、氰、铁、锰和降低COD、BOD等都具有显著的效果。紫外线能降低水系统的预处理系统中新菌落的生成速率，位于臭氧之后的254nm紫外灯可同时用于消毒和清除臭氧的残留。
B、循环回流以防止细菌滋生。在纯化水系统中的预处理系统、制水系统和用水系统分别设有循环水路，在节假日或晚间不用水时；纯化水罐水满时；出水电导率超标时，各系统内的水保持一定的程度的循环，必要时再辅以紫外或臭氧/紫外杀菌以防止细菌滋生。
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