臭氧是目前所知的氧化剂中氧化能力最强的，同时，臭氧在水中的溶解速度很快，可以很好的加速氧化，提高消毒杀菌效率。臭氧在常温下极易分解，温度越高，分解越快。另外，臭氧还有很高的腐蚀性，因此在实际生产中臭氧发生器设备一般采用25%的铬铁合金，密封橡胶也要选择耐腐蚀橡胶或耐酸橡胶。