科学主义的英文（scientism）在十九世纪七十年代就已出现。德国哲学家狄尔泰（Wilhelm Dilthey）在十九世纪末主张人文学的研究方法与科学方法不同，人文学应该“主观”，与科学的“客观”相对，并批评那种试图将科学方法应用于人文学（指法律、艺术、历史和宗教）研究的思想为科学主义。弱唯科学主义是指“对科学知识和技术万能的一种信念” （见《牛津英语词典》）。强唯科学主义是指“自然科学的方法应该被应用于包括哲学、人文和社会科学在内的一切研究领域的一种主张” （《韦伯斯特大词典》）。在前苏联和我国，唯科学主义有一种变形，即“马克思主义的唯科学主义”，这是一种把马克思主义思想体系看作是一种“万能的科学”，一种“放之四海而皆准的普遍真理”的主张, 也是一种易于产生教条化倾向的主张，也是一种易于产生团体迷思现象的主张。
在《反对方法》（Against Method）一文中，保罗·费耶阿本德指出：科学天生就是“无政府主义的事业，并且明显的，从来不存在所谓科学对“知识交易”的垄断，科学家们从未有着区分和狭隘的自定义传统。他亦描述当代科学教育的过程是一场温和形式的灌输，意图使“让科学历史更无聊，更简化，更统一，更 '客观' 以便于严格不变的规则处理。
“科学可以自我站立，不需要来自理性主义、世俗人文主义、马克思主义或其它宗教运动的帮助；...其它非科学文化、过程、假设也可以自我站立时也应被允许这样做...科学应该回避意识形态的影响；社会、特别是民主社会，都应该回避科学...在民主的科研院所里，研究项目、提议等都会受到公众控制，科学与政治应该相互分离，正如同政教分离一样，科学教育应该是众多观点中的一个，而不是通往真理与现实的唯一路径。”（费耶阿本德（Feyerabend），于《反对方法》）。

韦伯在其经济社会学和宗教社会学的主要著作中，探讨了合理化，世俗化，以及所谓的“ 觉醒过程 ”，以及这些与现代化和资本主义崛起之间的关系。在社会学中，合理化指的是，越来越多的社会行动，其目的是基于效率的计算，而不是源于道德 、情感或习俗 。在这个意义上，合理化是现代社会形成的中心环节，特别在西方世界，以资本主义市场为基础，官僚主义和国家管理的合理化状态；只是现代科学和现代技术的扩展。哲学家哈贝马斯批评纯粹的工具合理主义。“科学主义”也可以用来形容科学思维将自身提升到意识形态的过程。对于理论家，如鲍曼来说的，作为现代性表现的合理化可能是与令人遗憾的犹太大屠杀密切相关。

批判编辑
范岱年在他的文章，“唯科学主义在中国——历史的回顾与批判”一文中指出，“中国在工业、农业、科学技术和国防现代化方面已取得了相当大的成就。中国正在和平崛起。但在政治体制改革、价值观念、伦理道德建设方面还有十分艰巨的任务。现在提出“以人为本”，建立“和谐社会”，“关心弱势群体”，是一巨大进步，是对唯科学主义的有力批判。
马勇在探讨丁文江的科学主义时也说：“科学与玄学的论争从表面上看，参与论争的人是谁也没有说服谁，但从实际后果看，这场论争所产生的对科学的热情，成为知识分子生活中的一股创造性力量。尽管他们有着论战的分歧，但所有鼓吹和信奉科学的人，实际上都受到这种信念的鼓舞，即只有受过科学训练的知识分子，才能设计出解决中国问题的方案，才有可能进行一场科学的社会革命。在这场社会革命中，运用理性的技术解决人类福祉问题，使得提供比迄今通过常规智慧所提供的更为人道、更为有效的解决方法成为可能。这就使得他们所鼓吹的科学的行动，不仅具有学术上的重大意义，而且具有政治上、社会上的合法性保障。他们使用“赛先生”作为护身符，用这个具有魔力的护符去驱走一切迷信、保守主义以及对过去的盲目忠诚，以便把人的智慧解放出来，去思考人类所面临的种种紧迫问题。科学，已不再是一般意义上的科学，而是一种“科学主义”，甚至是“绝对的科学主义”。

程亚文在也其《科学主义与科学精神》中说到：
“什么是科学主义?什么是科学精神?爱因斯坦没有明说。然而，这并不影响爱因斯坦对科学的看法。对一个“精神贵族”来说，科学的价值自然更多还是体现在对人的心灵的扩充上，而不是在于其工具性上。爱因斯坦正是如此看待科学技术及其功用的，他对人类政治的现状持批判态度，对科学技术的滥用同样持批判态度。
我们将看到，爱因斯坦所反对的，正是科学主义。 爱因斯坦对科学主义的批判，包含在他对科学与社会关系的思考中。这也是晚年的爱因斯坦关切得最多的问题之一。他认为，科学通过两种方式影响人类事务：“第一种方式所有人都很熟悉：科学直接地，更多程度上是间接地生产出完全改变了人类生活的工具。第二种方式带有教育性质——它作用于人的心灵。”爱因斯坦满怀忧虑地指出：科学对人类事务的前一种影响方式，在给人类带来功利的同时，也更给人类制造了无穷困难，“技术——或者应用科学——却使人类面临极为严重的问题。人类能否继续生存，取决于这些问题的圆满解决。