集成电路装备产业创新中心

中心概况
徐州集成电路装备产业创新中心是徐州博康集团与徐州经济技术开发区管委会合作建设的高端产业创新中心，位于徐州经济技术开发区金龙湖景区（环湖南路）以南，和平大道以北，龙湖东路南延以西，三八河以东。创新中心总投资约10亿元，占地面积5.467公顷（约84.7亩），规划建筑面积约8.9万平方米。其中，地上13栋单体，建筑面积约8万平方米，主要包括研发办公6.6万平方米，展厅2500平方米，培训中心6700平方米，餐厅3100平方米，机械停车楼1300平方米；地下建筑面积9000平方米。
目前已开工建设，预计将于2018年底建成并投入使用。

▲创新中心整体鸟瞰
创新中心重点开展集成电路专用装备研发、关键部件及辅助设备研发、工艺服务及综合解决方案、微纳器件设计研发等，目前已有NLB电子束光刻机全球销售服务中心、高功率高压电源、扫描式电子显微镜、半导体检测专用扫描式电子显微镜（CD-SEM）及非磁电机（压电电机）等高端光刻装备及关键部件研发、生产及服务项目明确入驻。

▲主出入口沿街
创新中心建筑专为集成电路企业设计，一层层高6.5米（部分建筑可根据企业具体需求定制），用于建设洁净车间；二层层高5米，用于生产研发；三层及以上层高4.5米，用于研发办公。研发建筑单体外部设计有允许大型货车通过道路。

▲研发单体
创新中心位于徐州经济技术开发区核心商务区，紧邻徐州经济技术开发区行政审批中心、金龙湖景区、徐州地铁1号线及4号线（在建），周边具有完善的行政、商业、居住和景观配套资源。
距高铁徐州东站5分钟车程，3小时可抵达北京、上海、杭州、西安和武汉，1小时可抵达南京、济南、合肥和郑州。距徐州观音机场（国家一类航空口岸）40分钟车程，开通大阪、香港、台北、广州、深圳及国内其他主要城市航线。距徐州绕城高速徐州东互通4公里，京福、京台、京沪、连霍、宁徐、徐济、徐淮等7条高速过境。