在所有的高真空系统中，将气体从构成真空系统的材料中放出并排除掉是非常重要的。在真空条件下，器壁表面实际上并未与环境气氛处于平衡状态，而是覆盖着一层可凝性气体，其含量远远超过平衡状态下的含量，所以在真空区域，器壁的放气率只取决于抽气时间和表面的经历，而与系统的总压力无关。
在系统的除气过程中，烘烤温度不需要特别严格规定，而系统各处温度的均匀性要比烘烤温度重要得多。如果系统表面上附有高结合能的物质，则需要较高的烘烤温度才能有比较理想的放气率。当无法对系统整体进行均匀烘烤，则需要选择较高的烘烤温度。