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超纯水制备硼含量标准

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半导体的制造过程中,硼元素作为掺杂剂使用,因此生产过程中的废水含有不同浓度的硼元素。但是一些半导体制造工艺用水对硼有非常严格的限定。D870B可将硼的浓度降至ng/L(ppt)水平。


IP属地:北京1楼2023-04-14 11:16回复