华懋科技重要参股子公司徐州博康的生产经营、业务推进及产品研发等方面进展顺利,2023年以来在光刻胶产品研发及客户认证进展顺利,更多产品获得国内12寸晶圆厂的订单。具体分品类来看:
(1)ArF在研及配方定型光刻胶有30款产品,其中立项ArF-immersion16款、ArF-dry14款,产品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的LOGIC关键层工艺以及3DNAND、DRAM等应用领域。有4款ArF-immersion和6款ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证,其中4款产品进入批量验证阶段。目前形成销售的Arf光刻胶有7款,其中1款ArF产品在12寸fab厂批量供应。