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半导体行业中的微米级除尘技术——如何助力芯片良率提升?

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半导体芯片是现代科技的核心,其制造工艺的复杂性和精密性不断提升。从智能手机到人工智能,从汽车电子到数据中心,芯片的性能和可靠性直接影响着高科技产品的表现。
行业痛点
随着半导体工艺向3nm及以下制程迈进,生产环境中的微尘控制已成为决定芯片良率的关键因素。一颗纳米级的颗粒可能导致光刻胶涂布不均、线路短路等问题,直接造成数百万损失。然而,传统除尘技术(如风刀、离子风)难以高效去除微米级颗粒,且易因接触式清洁损伤晶圆表面。
技术解决方案
昆山普乐斯电子科技有限公司早已推出,非接触式除尘系统(如PLS-FD系列)。通过“超声波激振+高压气旋”双效协同,可精准去除1-3微米的颗粒。其核心技术在于:
1.超声波剥离:利用高频振动破坏颗粒与材料表面的静电吸附层,避免物理接触带来的划伤风险;
2.闭环气流控制:通过负压吸附与定向气流设计,确保粉尘不外溢,维持洁净室环境稳定;
3.定制化适配:针对晶圆、光掩模等异形件,提供仿形除尘单元,无缝集成于自动化生产线。
行业趋势与展望
近期,全球半导体巨头正加速推进先进封装技术,例如3D IC。随着技术的发展,对于多层堆叠结构的清洁度要求不断提高。昆山普乐斯电子科技始终密切关注市场最新需求,并正在研发与市场需求紧密结合的除尘方案。未来,该方案有望进一步适配复杂制程的需求。
此外,随着半导体产业的不断发展,对生产环境的洁净度要求也在不断提高。洁净工程通过建设无尘室、控制温度、湿度和空气洁净度等环境因素,为半导体生产提供了高质量的保障。昆山普乐斯电子科技的非接触式除尘系统,正是在这样的背景下应运而生,它不仅满足了当前半导体制造对清洁度的高要求,还为未来更先进的制程提供了技术储备。


IP属地:江苏1楼2025-02-11 14:11回复