清华大学的EUV目前仍在实验室状态

虽然清华大学的SSMB-EUV的同步辐射光源已能持续运行8小时12分，波长波动值0.02nm，打了破物理极限，但显然赶不上其它几家国产EUV的工业化进程。中芯国际对EUV的要求不是性能第一，而是成本第一，打赢即将到来的芯片价格战。