自主研发的四探针电阻测量仪系列中的全自动型产品。该系列产品基于双电测四探针法，能消除机械游移和边界效应的影响，获得高精度的测量结果。在半导体工艺领域中应用本仪器可以有效地监控工艺制造质量，快速地识别工艺制造中的问题
特点
可测量晶圆薄膜的方块电阻、电阻率、膜厚、膜厚差等多种工艺参数。 可显示点列图、趋势图、3D 图、热力图等多种测量结果图示。 具备数据管理、数据分析功能。 适配多种探针类型满足不同材质薄膜的测量。 温度补偿功能。 仪器状态监控。