是国产新一代薄膜测量产品。其原理是利用光的反射和干涉来确定薄膜的厚度。能够快速、精确地测量各种类型的薄膜，包括但不限于光学薄膜、半导体薄膜、液晶显示涂层等。其优势在于非接触式测量，避免了对样品的破坏，同时具有极快的速度和高的精准度。通过采集样品反射的光谱信息，仪器能够分析出薄膜的厚度、光学参数等关键参数，这些数据对于研发和生产过程中的质量控制和优化具有重要意义。

典型应用场景光刻胶层、CVD/PVD 等各种工艺薄膜、介电材料、CMP透明导电涂层（ITO）、增透膜、保护涂层硬涂层、减反涂层金属薄膜（测反射率）、氧化物薄膜、聚合物薄膜